Caracterização de nanoestruturas de carbono depositadas sobre filmes à base de HMDSO

Fieto, Bárbara Matos

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DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	Simão, Renata Antoun	-
dc.contributor.author	Fieto, Bárbara Matos	-
dc.date.accessioned	2019-09-19T17:35:42Z	-
dc.date.available	2023-12-21T03:06:19Z	-
dc.date.issued	2013-08	-
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11422/9706	-
dc.language	por	pt_BR
dc.publisher	Universidade Federal do Rio de Janeiro	pt_BR
dc.rights	Acesso Aberto	pt_BR
dc.subject	Filmes finos	pt_BR
dc.subject	Hexametildissiloxano	pt_BR
dc.subject	Pulverização catódica	pt_BR
dc.subject	Carbono	pt_BR
dc.subject	Nanoestruturas	pt_BR
dc.title	Caracterização de nanoestruturas de carbono depositadas sobre filmes à base de HMDSO	pt_BR
dc.type	Trabalho de conclusão de graduação	pt_BR
dc.contributor.referee1	Achete, Carlos Alberto	-
dc.contributor.referee2	Alburquerque, Marta Duarte da Fonseca	-
dc.description.resumo	Carbono é capazde formar estruturas versáteis e com bom desempenho tribológico sob a forma de filmes finos. No entanto, tensões internas provocam, muitas vezes, a fragmentação desses filmes uma vez que são geralmente frágeis. A deposição combinada destes com compostos organosiliconados, como o HMDSO, pode ser a chave para a produção de filmes menos frágeis, em função do seu caráter orgânico exibido por esta classe de substâncias.Quatro substratos de cobre foram recobertos por PECVD de HMDSO emum reator de descarga luminescente. Três delesforam subsequentemente revestidos por sputteringde carbono grafite por 5, 10 e 15 minutos. Um quinto e último substrato recebeu deposição intercalada de 4 minutos: quatro deposições por sputteringde carbono entre cinco deposições químicas de HMDSO. Todos os filmes foram produzidos no catodo. Este trabalho teve por objetivo observar os domínios estruturais formados, o caráter químico e analisar se houve diminuição da dureza e consequentemente da fragilidade dos filmes. Os filmes foram caracterizados por AFM, Raman e FTIR e teve propriedades mecânicas (módulo elástico e nanodureza) medidas por ensaio de carga e descarga e nanoidentação e também a molhabilidade causada por água e diiodometano em sua superfície foi avaliada. Quimicamente composto de grupos ligados a compostos orgânicos, os filmes apresentaram valores de ângulo de contato satisfatórios em relação à água (~100°), porém baixos em relação ao diiodometano(~45-60°). Mecanicamente, os filmes mostraram ter baixa dureza (~2GPa) e um caráter plástico, porém excelente módulo de elasticidade (acima de 120 GPa). Observam-se nanoestruturas e aparentemente, a partir de 15 minutos de sputteringde carbono, plaquetas (provavelmente de grafite) em sua estrutura.	pt_BR
dc.publisher.country	Brasil	pt_BR
dc.publisher.department	Escola Politécnica	pt_BR
dc.publisher.initials	UFRJ	pt_BR
dc.subject.cnpq	CNPQ::ENGENHARIAS::ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICA::METALURGIA FISICA	pt_BR
dc.embargo.terms	aberto	pt_BR
Appears in Collections:	Engenharia Metalúrgica

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