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http://hdl.handle.net/11422/8916| Type: | Trabalho de conclusão de graduação |
| Title: | Filmes finos de TiC/Al Produzidos por Magnetron Sputtering para aplicação em coletores solares |
| Author(s)/Inventor(s): | Alencastro, Felipe Sampaio |
| Advisor: | Simão, Renata Antoun |
| Abstract: | Este trabalho trata da deposição de filmes finos refletivos de alta dureza para aplicação em coletores solares. Os filmes foram produzidos por magnetron sputtering, utilizando alvos de alumínio e carbeto de titânio, onde ambos os componentes são depositados concomitantemente sobre os substratos. A deposição simultânea foi realizada através da rotação do suporte de substratos, que os imergia alternadamente nos plasmas dos diferentes alvos; a velocidade de rotação foi ajustada de forma a garantir que uma quantidade de material inferior a uma camada atômica fosse depositada a cada ciclo, possibilitando uma deposição homogênea dos componentes ao longo da espessura do filme. Os filmes depositados foram analisados via microscopia eletrônica de varredura, espectroscopia de energia dispersiva de Raios X, microscopia eletrônica de transmissão, microscopia de força atômica, perfilometria de contato, nanodureza Berkovich, difração de Raios X rasantes e espectrometria na região do infravermelho e do ultravioleta/visível. Os resultados das análises apontam tendências inversas entre a reflectividade e a nanodureza de acordo com a variação da proporção Al/TiC, e sugerem que a combinação destes componentes apresenta propriedades satisfatórias à produção de superfícies refletivas solares. |
| Keywords: | Superfícies refletivas Magnetron Sputtering Filmes finos duros |
| Subject CNPq: | CNPQ::ENGENHARIAS::ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICA |
| Production unit: | Escola Politécnica |
| Publisher: | Universidade Federal do Rio de Janeiro |
| Issue Date: | Feb-2012 |
| Publisher country: | Brasil |
| Language: | por |
| Right access: | Acesso Aberto |
| Appears in Collections: | Engenharia de Materiais |
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