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Type: Trabalho de conclusão de graduação
Title: Caracterização de nanoestruturas de carbono depositadas sobre filmes à base de HMDSO
Author(s)/Inventor(s): Fieto, Bárbara Matos
Advisor: Simão, Renata Antoun
Abstract: Carbono é capazde formar estruturas versáteis e com bom desempenho tribológico sob a forma de filmes finos. No entanto,tensões internas provocam, muitas vezes, a fragmentação desses filmes uma vez que são geralmente frágeis. A deposição combinada destes com compostos organosiliconados, como o HMDSO, pode ser a chave para a produção de filmes menos frágeis, em função do seu caráter orgânico exibido por esta classe de substâncias.Quatro substratos de cobre foram recobertos por PECVD de HMDSO emum reator de descarga luminescente. Três delesforam subsequentemente revestidos por sputteringde carbono grafite por 5, 10 e 15 minutos. Um quinto e último substrato recebeu deposição intercalada de 4 minutos: quatro deposições por sputteringde carbono entre cinco deposições químicas de HMDSO. Todos os filmes foram produzidos no catodo. Este trabalho teve por objetivo observar os domínios estruturais formados, o caráter químico e analisar se houve diminuição da dureza e consequentemente da fragilidade dos filmes. Os filmes foram caracterizados por AFM, Raman e FTIR e teve propriedades mecânicas (módulo elástico e nanodureza) medidas por ensaio de carga e descarga e nanoidentação e também a molhabilidade causada por água e diiodometano em sua superfície foi avaliada. Quimicamente composto de grupos ligados a compostos orgânicos, os filmes apresentaram valores de ângulo de contato satisfatórios em relação à água (~100°), porém baixos em relação ao diiodometano(~45-60°). Mecanicamente, os filmes mostraram ter baixa dureza (~2GPa) e um caráter plástico, porém excelente módulo de elasticidade (acima de 120 GPa). Observam-se nanoestruturas e aparentemente, a partir de 15 minutos de sputteringde carbono, plaquetas (provavelmente de grafite) em sua estrutura.
Keywords: PECVD
HMDSO
sputtering
carbono
nanoestruturas
Subject CNPq: CNPQ::ENGENHARIAS::ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICA
Department : Escola Politécnica
Publisher: Universidade Federal do Rio de Janeiro
Issue Date: Aug-2013
Publisher country: Brasil
Language: por
Right access: Acesso Aberto
Appears in Collections:Engenharia Metalúrgica

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