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Caracterização de nanoestruturas de carbono depositadas sobre filmes à base de HMDSO

dc.contributor.advisorSimão, Renata Antoun
dc.contributor.referee1Achete, Carlos Alberto
dc.contributor.referee2Alburquerque, Marta Duarte da Fonseca
dc.creatorFieto, Bárbara Matos
dc.date.accessioned2019-09-19T17:35:42Z
dc.date.available2026-05-16T03:05:56Z
dc.date.issued2013-08
dc.description.resumoCarbono é capazde formar estruturas versáteis e com bom desempenho tribológico sob a forma de filmes finos. No entanto, tensões internas provocam, muitas vezes, a fragmentação desses filmes uma vez que são geralmente frágeis. A deposição combinada destes com compostos organosiliconados, como o HMDSO, pode ser a chave para a produção de filmes menos frágeis, em função do seu caráter orgânico exibido por esta classe de substâncias.Quatro substratos de cobre foram recobertos por PECVD de HMDSO emum reator de descarga luminescente. Três delesforam subsequentemente revestidos por sputteringde carbono grafite por 5, 10 e 15 minutos. Um quinto e último substrato recebeu deposição intercalada de 4 minutos: quatro deposições por sputteringde carbono entre cinco deposições químicas de HMDSO. Todos os filmes foram produzidos no catodo. Este trabalho teve por objetivo observar os domínios estruturais formados, o caráter químico e analisar se houve diminuição da dureza e consequentemente da fragilidade dos filmes. Os filmes foram caracterizados por AFM, Raman e FTIR e teve propriedades mecânicas (módulo elástico e nanodureza) medidas por ensaio de carga e descarga e nanoidentação e também a molhabilidade causada por água e diiodometano em sua superfície foi avaliada. Quimicamente composto de grupos ligados a compostos orgânicos, os filmes apresentaram valores de ângulo de contato satisfatórios em relação à água (~100°), porém baixos em relação ao diiodometano(~45-60°). Mecanicamente, os filmes mostraram ter baixa dureza (~2GPa) e um caráter plástico, porém excelente módulo de elasticidade (acima de 120 GPa). Observam-se nanoestruturas e aparentemente, a partir de 15 minutos de sputteringde carbono, plaquetas (provavelmente de grafite) em sua estrutura.pt_BR
dc.embargo.termsabertopt_BR
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11422/9706
dc.languageporpt_BR
dc.publisherUniversidade Federal do Rio de Janeiropt_BR
dc.publisher.countryBrasilpt_BR
dc.publisher.departmentEscola Politécnicapt_BR
dc.publisher.initialsUFRJpt_BR
dc.rightsAcesso Abertopt_BR
dc.subjectFilmes finospt_BR
dc.subjectHexametildissiloxanopt_BR
dc.subjectPulverização catódicapt_BR
dc.subjectCarbonopt_BR
dc.subjectNanoestruturaspt_BR
dc.subject.cnpqCNPQ::ENGENHARIAS::ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICA::METALURGIA FISICApt_BR
dc.titleCaracterização de nanoestruturas de carbono depositadas sobre filmes à base de HMDSOpt_BR
dc.typeTrabalho de conclusão de graduaçãopt_BR

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