Pantheon Repositorio Institucional
Recopila, preserva y difundi la producción académica digital en todas las áreas del conocimiento.
Comprende los activos del repositorio, además de tesis y disertaciones en la UFRJ, artículos científicos, libros electrónicos, capítulos de libros y trabajos presentados en eventos para los profesores, investigadores, personal administrativo y estudiantes de maestría y doctorado.
Por favor, use este identificador para citar o enlazar este ítem:
http://hdl.handle.net/11422/9560| Especie: | Trabalho de conclusão de graduação |
| Título : | Fabricação de microdispositivos por fotolitografia e projeto de fotoexpositora de luz pontual |
| Autor(es)/Inventor(es): | Santos, Gustavo Nóbrega dos |
| Tutor: | Cotta, Carolina Palma Naveira |
| Tutor : | Cotta, Renato Machado |
| Resumen: | O presente trabalho apresenta utilização de uma fotoexpositora comercial para fabricação de microssistemas através da técnica de fotolitografia e o projeto e construção detalhada de uma nova fotoexpositora de fonte de luz pontual.A fotoexpositora comercial empregada no presente estudo contem 4 lampadas tubulares como fonte de luz UV e permite a fabricação de canais de sessão semi-circular. Todavia o posicionamento,dos canais a serem fabricados, com relação as lampadas (perpendiculares ou paralelos as lampadas) levam adiferenças de fabricação dos canais. Neste sentido a novafotoexpositora projetada e construida no contexto do presente trabalho faz uso de uma fonte pontual de luz UV e tem como objetivo principal a fabricação de microssistemas com melhor acabamento e maior uniformidade dos canais além de permitir a fabricação de micro-canais com secção transversal retangular. |
| Materia: | microflúdica microfabricação fotolitografia |
| Materia CNPq: | CNPQ::ENGENHARIAS |
| Unidade de producción: | Escola Politécnica |
| Editor: | Universidade Federal do Rio de Janeiro |
| Fecha de publicación: | abr-2013 |
| País de edición : | Brasil |
| Idioma de publicación: | por |
| Tipo de acceso : | Acesso Aberto |
| Aparece en las colecciones: | Engenharia Mecânica |
Ficheros en este ítem:
| Fichero | Descripción | Tamaño | Formato | |
|---|---|---|---|---|
| monopoli10006430.pdf | 2.23 MB | Adobe PDF | Visualizar/Abrir |
Los ítems de DSpace están protegidos por copyright, con todos los derechos reservados, a menos que se indique lo contrario.