Fabricação de microdispositivos por fotolitografia e projeto de fotoexpositora de luz pontual

Santos, Gustavo Nóbrega dos

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11422/9560

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DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	Cotta, Carolina Palma Naveira	-
dc.contributor.author	Santos, Gustavo Nóbrega dos	-
dc.date.accessioned	2019-09-16T10:39:34Z	-
dc.date.available	2023-12-21T03:01:24Z	-
dc.date.issued	2013-04	-
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11422/9560	-
dc.language	por	pt_BR
dc.publisher	Universidade Federal do Rio de Janeiro	pt_BR
dc.rights	Acesso Aberto	pt_BR
dc.subject	microflúdica	pt_BR
dc.subject	microfabricação	pt_BR
dc.subject	fotolitografia	pt_BR
dc.title	Fabricação de microdispositivos por fotolitografia e projeto de fotoexpositora de luz pontual	pt_BR
dc.type	Trabalho de conclusão de graduação	pt_BR
dc.contributor.advisorCo1	Cotta, Renato Machado	-
dc.contributor.referee1	Loureiro, Juliana Braga Rodrigues	-
dc.description.resumo	O presente trabalho apresenta utilização de uma fotoexpositora comercial para fabricação de microssistemas através da técnica de fotolitografia e o projeto e construção detalhada de uma nova fotoexpositora de fonte de luz pontual.A fotoexpositora comercial empregada no presente estudo contem 4 lampadas tubulares como fonte de luz UV e permite a fabricação de canais de sessão semi-circular. Todavia o posicionamento,dos canais a serem fabricados, com relação as lampadas (perpendiculares ou paralelos as lampadas) levam adiferenças de fabricação dos canais. Neste sentido a novafotoexpositora projetada e construida no contexto do presente trabalho faz uso de uma fonte pontual de luz UV e tem como objetivo principal a fabricação de microssistemas com melhor acabamento e maior uniformidade dos canais além de permitir a fabricação de micro-canais com secção transversal retangular.	pt_BR
dc.publisher.country	Brasil	pt_BR
dc.publisher.department	Escola Politécnica	pt_BR
dc.publisher.initials	UFRJ	pt_BR
dc.subject.cnpq	CNPQ::ENGENHARIAS	pt_BR
dc.embargo.terms	aberto	pt_BR
Appears in Collections:	Engenharia Mecânica

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