Fabricação de microdispositivos por fotolitografia e projeto de fotoexpositora de luz pontual

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Type:	Trabalho de conclusão de graduação
Title:	Fabricação de microdispositivos por fotolitografia e projeto de fotoexpositora de luz pontual
Author(s)/Inventor(s):	Santos, Gustavo Nóbrega dos
Advisor:	Cotta, Carolina Palma Naveira
Co-advisor:	Cotta, Renato Machado
Abstract:	O presente trabalho apresenta utilização de uma fotoexpositora comercial para fabricação de microssistemas através da técnica de fotolitografia e o projeto e construção detalhada de uma nova fotoexpositora de fonte de luz pontual.A fotoexpositora comercial empregada no presente estudo contem 4 lampadas tubulares como fonte de luz UV e permite a fabricação de canais de sessão semi-circular. Todavia o posicionamento,dos canais a serem fabricados, com relação as lampadas (perpendiculares ou paralelos as lampadas) levam adiferenças de fabricação dos canais. Neste sentido a novafotoexpositora projetada e construida no contexto do presente trabalho faz uso de uma fonte pontual de luz UV e tem como objetivo principal a fabricação de microssistemas com melhor acabamento e maior uniformidade dos canais além de permitir a fabricação de micro-canais com secção transversal retangular.
Keywords:	microflúdica microfabricação fotolitografia
Subject CNPq:	CNPQ::ENGENHARIAS
Production unit:	Escola Politécnica
Publisher:	Universidade Federal do Rio de Janeiro
Issue Date:	Apr-2013
Publisher country:	Brasil
Language:	por
Right access:	Acesso Aberto
Appears in Collections:	Engenharia Mecânica

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