Pantheon Repositório Institucional da UFRJ
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http://hdl.handle.net/11422/9560| Tipo: | Trabalho de conclusão de graduação |
| Título: | Fabricação de microdispositivos por fotolitografia e projeto de fotoexpositora de luz pontual |
| Autor(es)/Inventor(es): | Santos, Gustavo Nóbrega dos |
| Orientador: | Cotta, Carolina Palma Naveira |
| Coorientador: | Cotta, Renato Machado |
| Resumo: | O presente trabalho apresenta utilização de uma fotoexpositora comercial para fabricação de microssistemas através da técnica de fotolitografia e o projeto e construção detalhada de uma nova fotoexpositora de fonte de luz pontual.A fotoexpositora comercial empregada no presente estudo contem 4 lampadas tubulares como fonte de luz UV e permite a fabricação de canais de sessão semi-circular. Todavia o posicionamento,dos canais a serem fabricados, com relação as lampadas (perpendiculares ou paralelos as lampadas) levam adiferenças de fabricação dos canais. Neste sentido a novafotoexpositora projetada e construida no contexto do presente trabalho faz uso de uma fonte pontual de luz UV e tem como objetivo principal a fabricação de microssistemas com melhor acabamento e maior uniformidade dos canais além de permitir a fabricação de micro-canais com secção transversal retangular. |
| Palavras-chave: | microflúdica microfabricação fotolitografia |
| Assunto CNPq: | CNPQ::ENGENHARIAS |
| Unidade produtora: | Escola Politécnica |
| Editora: | Universidade Federal do Rio de Janeiro |
| Data de publicação: | Abr-2013 |
| País de publicação: | Brasil |
| Idioma da publicação: | por |
| Tipo de acesso: | Acesso Aberto |
| Aparece nas coleções: | Engenharia Mecânica |
Arquivos associados a este item:
| Arquivo | Descrição | Tamanho | Formato | |
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